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石英ガラス製品、ガラス加工製品
透明石英ガラスは半導体，純金属，純粋薬剤等の製造，処理装置として広く利用されています。又、紫外域透過性がよく化学的に非常に安定しております。更に加工性に優れており各種の加工品も製作出来ます。

	・酸水素炎熔融石英ガラス (以下酸水素熔融品と称する）・酸水素炎熔融石英ガラス　低アルカリ品 (以下酸水素熔融低アルカリ品と称する）	・電気熔融石英ガラス（以下電気熔融品と称する）・電気熔融石英ガラス低アルカリ品（以下電気熔融低アルカリ品と称する）	有水合成
軟化点	(1,720℃)	(1,720℃)	(1,720℃)
除冷点	1,180℃	1,220℃	1,080℃
歪点	1,070℃	1,120℃	970℃

（　　）内内挿値

膨張係数	５×１０-７
紫外線透過率	９４％以上
急熱急冷抵抗	1,250℃
品種	管、棒、理化学容器類、ボート、角型管

☆ご要望により各種寸法にて製作承ります。

石英ガラスの形状

（代表的な石英ガラス素材）

品種	用途	形状	製造範囲 (max. mm)	特長
酸水素溶融品	半導体用理化学用		P600×3000L R50×1000L 1000×200t 850□×300t	酸水素炎で溶融した気泡の少ない工業用石英ガラス。
酸水素溶融低アルカリ品	半導体用理化学用		P600×3000L R50×1000L 1000×200t 850□×300t	特に精製した高純度原料を使用して、酸水素炎で溶融した高純度の気泡の少ない工業用の石英ガラス。
電気溶融品	半導体用		P600×3000L R30×1000L 500×300t 600□×300t	電気溶融した耐熱特性の優れた汎用、工業用の無水石英ガラスで、多少気泡がある。
電気溶融低アルカリ品	半導体用		P600×3000L R30×1000L 500×300t 600□×300t	特に純度の高い電気溶融タイプの石英ガラス。
高純度不透明石英ガラス	半導体用		700×250t 600□×150t	酸水素炎で溶融した微細で且つ均一な気泡を有する熱遮断性に優れた不透明石英ガラス。
無水合成	半導体用光学用		P600×1000L R20×1000L 600×50t 500□×50t	超高純度で耐熱性に優れ、高均質性で光透過性に優れた合成石英ガラス。
有水合成	半導体用光学用理化学用		P600×3000L R20×1000L 500×300t 1000□×50t	高純度、高品質で特に紫外透過率の優れた合ー石英ガラス。

石英ガラスの純度
透明石英ガラスは、純度の高い無水ケイ酸を高温度で溶融した単一成分のガラスで、不純物の含有量は微量であることが特長です。微細化の進んだ超LSIの製造工程の中では、アルカリなど不純物の極めて少ない石英ガラスが必要とされます。半導体技術の進歩に伴い、当社では有水高純度品(酸水素溶融低アルカリ品グレード)及びOH基含有量が非常に少ない耐高温用無水高純度品(電気溶融低アルカリ品グレード)等、よりハイグレードの製品を提供しております。

●高純度石英ガラス準合成石英ガラス材
１．純度は、合成石英ガラス並
２．粘度は、酸水素溶融品同等
３．透過率は、低波長まで高透過性を示す
４．２５４nm光、３６５nm光照射時、蛍光無し

※準合成とは、合成石英粉を溶融した溶融石英ガラスの事です

各種透明石英ガラスの化学分析例

	Al	Ca	Cu	Fe	Na	K	Li	Mg	OH
酸水素溶融品	8	0.6	<0.01	0.2	0.6	0.1	<0.07	0.04	200
酸水素溶融低アルカリ品	7	0.5	<0.01	0.1	0.1	0.03	<0.01	0.02	200
準合成石英ガラス	0.7	<0.01	<0.01	0.05>	0.1	<0.01	<0.01	<0.01	160
低OH品	0.04	<0.01	<0.01	0.08	0.02	<0.01	<0.01	<0.01	50
不透明	8	0.7	<0.01	0.2	0.5	0.3	0.07	0.04	160
高純度不透明石英ガラス	7	0.6	<0.01	0.07	0.06	0.03	0.07	0.02	160
電気溶融品	17	0.7	0.05	0.8	1.0	0.5	0.8		10
電気溶融低アルカリ品	17	0.6	0.01	0.4	0.1	0.4	0.1		10
有水合成	<0.01	<0.01	<0.01	<0.01	<0.01	<0.01	<0.01	<0.01	1000
無水合成	<0.01	<0.01	<0.01	<0.01	<0.01	<0.01	<0.01	<0.01	<200

(代表分析値単位: ppm)

透明石英ガラスの化学的特性
透明石英ガラスは、化学的に極めて安定であり、優れた耐薬品性を示します。この特長は、種々の溶剤や酸溶液の蒸留および各種物質の溶解・洗浄容器として、最適です。しかし、フッ酸、リン酸とアルカリ・アルカリ金属化合物の溶液およびそれらの雰囲気では、石英ガラスの浸蝕や表面失透が起こります。