石英ガラス（石英硝子）を通じて未来開発を支援する　株式会社石本商会-製品紹介-石英製品-石英ガラス素材


	技術情報

▼お問合せはこちら▼
info@isimoto.net

ホーム　＞　製品紹介　＞　石英製品　＞　素材

石英ガラスの形状	石英ガラスの純度
透明石英ガラス管・棒類

石英ガラス製品、ガラス加工製品
透明石英ガラスは半導体，純金属，純粋薬剤等の製造，処理装置として広く利用されています。又、紫外域透過性がよく化学的に非常に安定しております。更に加工性に優れており各種の加工品も製作出来ます。

	・酸水素炎熔融石英ガラス (以下酸水素熔融品と称する）・酸水素炎熔融石英ガラス　低アルカリ品 (以下酸水素熔融低アルカリ品と称する）	・電気熔融石英ガラス（以下電気熔融品と称する）・電気熔融石英ガラス低アルカリ品（以下電気熔融低アルカリ品と称する）	有水合成
軟化点	(1,720℃)	(1,720℃)	(1,720℃)
除冷点	1,180℃	1,220℃	1,080℃
歪点	1,070℃	1,120℃	970℃

（　　）内内挿値

膨張係数	５×１０-７
紫外線透過率	９４％以上
急熱急冷抵抗	1,250℃
品種	管、棒、理化学容器類、ボート、角型管

☆ご要望により各種寸法にて製作承ります。

石英ガラスの形状

（代表的な石英ガラス素材）

品種	用途	形状	製造範囲 (max. mm)	特長
酸水素溶融品	半導体用理化学用		P600×3000L R50×1000L 1000×200t 850□×300t	酸水素炎で溶融した気泡の少ない工業用石英ガラス。
酸水素溶融低アルカリ品	半導体用理化学用		P600×3000L R50×1000L 1000×200t 850□×300t	特に精製した高純度原料を使用して、酸水素炎で溶融した高純度の気泡の少ない工業用の石英ガラス。
電気溶融品	半導体用		P600×3000L R30×1000L 500×300t 600□×300t	電気溶融した耐熱特性の優れた汎用、工業用の無水石英ガラスで、多少気泡がある。
電気溶融低アルカリ品	半導体用		P600×3000L R30×1000L 500×300t 600□×300t	特に純度の高い電気溶融タイプの石英ガラス。
高純度不透明石英ガラス	半導体用		700×250t 600□×150t	酸水素炎で溶融した微細で且つ均一な気泡を有する熱遮断性に優れた不透明石英ガラス。
無水合成	半導体用光学用		P600×1000L R20×1000L 600×50t 500□×50t	超高純度で耐熱性に優れ、高均質性で光透過性に優れた合成石英ガラス。
有水合成	半導体用光学用理化学用		P600×3000L R20×1000L 500×300t 1000□×50t	高純度、高品質で特に紫外透過率の優れた合成石英ガラス。

石英ガラスの純度
透明石英ガラスは、純度の高い無水ケイ酸を高温度で溶融した単一成分のガラスで、不純物の含有量は微量であることが特長です。微細化の進んだ超LSIの製造工程の中では、アルカリなど不純物の極めて少ない石英ガラスが必要とされます。半導体技術の進歩に伴い、当社では有水高純度品(酸水素溶融低アルカリ品グレード)及びOH基含有量が非常に少ない耐高温用無水高純度品(電気溶融低アルカリ品グレード)等、よりハイグレードの製品を提供しております。

●高純度石英ガラス準合成石英ガラス材
１．純度は、合成石英ガラス並
２．粘度は、酸水素溶融品同等
３．透過率は、低波長まで高透過性を示す
４．２５４nm光、３６５nm光照射時、蛍光無し

※準合成とは、合成石英粉を溶融した溶融石英ガラスの事です

各種透明石英ガラスの化学分析例

	Al	Ca	Cu	Fe	Na	K	Li	Mg	OH
酸水素溶融品	9	0.6	0.01	0.1	0.6	0.1	0.01	0.04	200
酸水素溶融低アルカリ品	8	0.5	0.01	0.05	0.1	0.02	0.01	0.02	200
準合成石英ガラス	0.7	<0.01	<0.01	<0.05	0.1	<0.01	<0.01	<0.01	160
低OH品	0.04	<0.01	<0.01	0.08	0.02	<0.01	<0.01	<0.01	50
不透明	9	0.8	0.01	0.2	0.2	0.47	0.06	0.04	160
高純度不透明石英ガラス	8	0.5	0.01	0.05	0.06	0.02	0.01	0.02	160
電気溶融品	15	0.6	0.02	0.2	0.8	0.6	0.5	0.1	10
電気溶融低アルカリ品	15	0.6	0.01	0.2	0.2	0.6	0.2	0.1	10
有水合成	0.1	0.1	0.01	0.05	0.05	0.05	<0.01	<0.01	1000
無水合成	<0.01	<0.01	<0.01	<0.01	<0.01	<0.01	<0.01	<0.01	<100

(代表分析値単位: ppm)

透明石英ガラスの化学的特性
透明石英ガラスは、化学的に極めて安定であり、優れた耐薬品性を示します。この特長は、種々の溶剤や酸溶液の蒸留および各種物質の溶解・洗浄容器として、最適です。しかし、フッ酸、リン酸とアルカリ・アルカリ金属化合物の溶液およびそれらの雰囲気では、石英ガラスの浸蝕や表面失透が起こります。

透明石英ガラス管・棒類
透明石英ガラス管・棒類は次の標準品を用意しております。管類はいずれも内径と肉厚の寸法(mm)が又、棒類は、外径寸法(mm)が基準となっております。長さは、管・棒ともに1,000mmが、標準です。ご用途に合わせて、サイズをご指定ください。他のサイズもご用意できます。内径又は外径と肉厚及び長さ寸法をご指定ください。

透明石英ガラス・標準管
略号	内径(mm)	肉厚(mm)	略号	内径(mm)	肉厚(mm)
#1	1.5±0.5	0.6±0.2	#56	58.0±1.5	2.5±0.5
#2	2.5±0.5	0.7±0.3	#60	61.5±1.5	3.0±0.5
#3	3.5±0.5	0.7±0.3	#63	64.5±1.5	3.0±0.5
#4	4.5±0.5	0.7±0.3	#66	68.0±1.5	3.0±0.5
#5	5.5±0.5	0.7±0.3	#70	71.5±1.5	3.0±0.5
#6	6.5±0.5	0.8±0.3	#75	77.5±1.5	3.0±0.5
#7	7.5±0.5	0.8±0.3	#80	81.5±1.5	3.0±0.5
#8	8.5±0.5	0.8±0.3	#85	87.5±1.5	3.0±0.5
#9	9.5±0.5	0.8±0.3	#90	92.5±1.5	3.0±0.5
#10	10.5±0.5	1.2±0.3	#95	97.5±1.5	3.0±0.5
#11	11.5±0.5	1.2±0.3	#100	102.5±2.5	3.0±0.5
#12	12.5±0.5	1.2±0.3	#105	107.5±2.5	3.0±0.5
#13	13.5±0.5	1.2±0.3	#110	115.5±2.5	3.0±0.5
#14	14.5±0.5	1.5±0.4	#120	125.0±5.0	3.0±0.5
#15	15.5±0.5	1.5±0.4	#130	135.0±5.0	3.0±0.5
#16	16.5±0.5	1.5±0.4	#140	145.0±5.0	3.0±0.5
#17	17.5±0.5	1.5±0.4	#150	155.0±5.0	3.0±0.5
#18	18.5±0.5	1.5±0.4	#160	165.0±5.0	3.0±0.5
#19	19.5±0.5	1.5±0.4	#170	175.0±5.0	3.0±0.5
#20	21.0±1.0	1.5±0.4	#180	185.0±5.0	3.0±0.5
#22	23.0±1.0	1.8±0.4	#190	195.0±5.0	3.0±0.5
#24	25.0±1.0	1.8±0.4	#200	205.0±5.0	3.0±0.5
#26	27.0±1.0	1.8±0.4	#210	215.0±5.0	3.0±0.5
#28	29.0±1.0	2.0±0.5	#220	225.0±5.0	3.0±0.5
#30	31.5±1.5	2.0±0.5	#230	235.0±5.0	3.0±0.5
#33	34.5±1.5	2.0±0.5	#240	245.0±5.0	3.0±0.5
#36	38.0±1.5	2.3±0.5	#250	255.0±5.0	3.0±0.5
#40	41.5±1.5	2.3±0.5	#260	265.0±5.0	3.3±0.5
#43	44.5±1.5	2.3±0.5	#270	275.0±5.0	3.3±0.5
#46	48.0±1.5	2.5±0.5	#280	285.0±5.0	3.3±0.5
#50	51.5±1.5	2.5±0.5	#290	295.0±5.0	3.3±0.5
#53	54.5±1.5	2.5±0.5	#300	305.0±5.0	3.3±0.5

標準肉厚管Ａ			標準肉厚管Ｂ			標準棒
略号	内径(mm)	肉厚(mm)	略号	内径(mm)	肉厚(mm)	略号	外径(mm)
#1A	1.5±0.5	1.0±0.2	#1B	1.5±0.5	1.5±0.3	φ1	1.5±0.5
#2A	2.5±0.5	1.2±0.2	#2B	2.5±0.5	1.7±0.3	φ2	2.5±0.5
#3A	3.5±0.5	1.2±0.2	#3B	3.5±0.5	1.7±0.3	φ3	3.5±0.5
#4A	4.5±0.5	1.2±0.2	#4B	4.5±0.5	1.7±0.3	φ4	4.5±0.5
#5A	5.5±0.5	1.2±0.2	#5B	5.5±0.5	1.7±0.3	φ5	5.5±0.5
#6A	6.5±0.5	1.3±0.2	#6B	6.5±0.5	1.8±0.3	φ6	6.5±0.5
#7A	7.5±0.5	1.3±0.2	#7B	7.5±0.5	1.8±0.3	φ7	7.5±0.5
#8A	8.5±0.5	1.3±0.2	#8B	8.5±0.5	1.8±0.3	φ8	8.5±0.5
#9A	9.5±0.5	1.3±0.2	#9B	9.5±0.5	1.8±0.3	φ9	9.5±0.5
#10A	10.5±0.5	1.7±0.2	#10B	10.5±0.5	2.3±0.4	φ10	10.5±0.5
#11A	11.5±0.5	1.7±0.2	#11B	11.5±0.5	2.3±0.4	φ11	11.5±0.5
#12A	12.5±0.5	1.7±0.2	#12B	12.5±0.5	2.3±0.4	φ12	12.5±0.5
#13A	13.5±0.5	1.7±0.2	#13B	13.5±0.5	2.3±0.4	φ13	13.5±0.5
#14A	14.5±0.5	2.2±0.4	#14B	14.5±0.5	3.0±0.5	φ14	14.5±0.5
#15A	15.5±0.5	2.2±0.4	#15B	15.5±0.5	3.0±0.5	φ15	15.5±0.5
#16A	16.5±0.5	2.2±0.4	#16B	16.5±0.5	3.0±0.5	φ16	16.5±0.5
#17A	17.5±0.5	2.2±0.4	#17B	17.5±0.5	3.0±0.5	φ17	17.5±0.5
#18A	18.5±0.5	2.2±0.4	#18B	18.5±0.5	3.0±0.5	φ18	18.5±0.5
#19A	19.5±0.5	2.2±0.4	#19B	19.5±0.5	3.0±0.5	φ19	19.5±0.5
#20A	21.0±1.0	2.2±0.4	#20B	21.0±1.0	3.0±0.5	φ20	21.0±1.0